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MKS質量流量控制器常見故障及維修指南

發布者:ZMT    來源:上海仰光電子科技有限公司     發布時間:2025-10-22

MKS質量流量控制器常見故障及維修指南

MKS質量流量控制器常見故障及維修指南

MKS質量流量控制器在長期運行過程中可能會出現多種常見故障,以下是一些主要的故障類型及其可能的原因:

無流量顯示或顯示異常:
電源問題:電源連接不良或電壓不穩定可能導致控制器無法正常工作。
傳感器故障:傳感器損壞、污染或老化會影響流量測量的準確性。
電路板故障:電路板上的元件損壞或焊接不良可能導致顯示異常。
控制功能失效:
控制算法問題:控制器的算法可能無法正確響應設定值的變化,導致流量無法穩定控制。
執行器故障:與控制器相連的執行器(如閥門)可能出現故障,導致流量無法調整。
通信故障:控制器與上位機之間的通信中斷或干擾可能導致控制功能失效。
報警信息頻繁出現:
過流或欠流報警:實際流量超過或低于控制器的設定范圍時,會觸發報警。
傳感器故障報警:傳感器出現問題時,控制器會發出報警信號。
硬件故障報警:電路板、電源等硬件部件出現故障時,也會觸發報警。
流量波動大:
氣體介質問題:氣體介質中含有雜質、水分或腐蝕性物質可能導致傳感器污染或損壞。
管道振動:管道振動可能影響傳感器的測量精度,導致流量波動。
控制器參數設置不當:控制器的參數設置不合理可能導致流量控制不穩定。
校準不準確:
校準方法不當:校準過程中使用的標準流量計或氣體源不準確,或者校準步驟不正確,都可能導致校準結果不準確。

傳感器老化:傳感器長時間使用后可能出現老化現象,導致校準結果偏離實際值。


如無法自行解決故障,建議聯系MKS官方或專業維修公司進行維修。


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